
国家知识产权局信息显示梅州塑料挤出机厂家,宁波南大光电材料有限公司申请一项名为“一种ArF浸没式光刻胶树脂及其制备方法”的利,公开号CN121226606A,申请日期为2025年10月。
利摘要显示,本发明适用于半导体制造材料技术域,本发明提供了一种ArF浸没式光刻胶树脂及其制备方法,其具有显影后溶解损失较小,形貌优异的特点。该树脂由如下单体制成,按重量百分比计,各单体的比例为:10%~40%内酯单体、20%~60%酸保护单体、0.01%~20%溶解抑制单体。本发明引入适量地溶解抑制单体,此单体具有较低表面能,能够阻碍显影液进入未曝光区域,降低了树脂在显影过程中的溶胀和溶解能,减少光刻胶显影后的非曝光区溶解,光刻胶显影后的形貌,从而得到边缘粗糙度更低的光刻图形。使用本发明的ArF浸没式光刻胶树脂制备的光刻胶具优异的显影膜厚损失和图形形貌,提升了集成电路制造过程中的产品良率。
天眼查资料显示,宁波南大光电材料有限公司,成立于2018年,位于宁波市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本36733.19万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波南大光电材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目33次,利信息147条,此外企业还拥有行政许可43个。
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